近日,晋江(西安)离岸创新中心迎来了新伙伴——非接触式半导体工艺参数测试仪器项目正式入驻。
此次入驻的项目团队研究方向与晋江重点发展的集成电路产业高度契合。该项目聚焦解决现有检测手段对晶圆内部缺陷、载流子寿命、复合率等关键电学参数(接触式测量)效率较低的问题。项目核心成果为国内首台“非接触式电学参数成像检测仪”,具备可视化深层缺陷探测能力、非破坏性检测与纳秒级载流子响应成像功能,代表了光热诊断和多物理参数融合检测领域的前沿突破,具有高度的战略价值和工程转化前景。
项目团队的成功入驻,是晋江(西安)离岸创新中心深化晋陕两地合作的又一里程碑。晋江(西安)离岸创新中心自设立以来,肩负着打造晋江在陕西甚至西北地区“人才驿站、创新前哨、项目孵化器”的战略使命。未来,该中心将持续优化创新生态、完善服务体系,积极吸引更多高水平科研团队和创新创业项目汇聚,为晋江产业转型升级和经济社会高质量发展贡献源源不断的创新智慧与力量。(记者 李玲玲)